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金刚石:半导体行业的新宠与未来十年增长潜力


近年来,半导体行业迎来了新的变革,金刚石逐渐成为了行业的瞩目焦点。随着绿色低碳理念的深入人心,半导体器件的效率与性能成为了行业发展的核心追求。尽管传统硅材料仍占有一席之地,但其效率提升已面临瓶颈,尤其在极端环境下更是显得力不从心。幸运的是,氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)等新型半导体材料的涌现,为行业带来了新的希望。这些材料不仅突破了硅材料的局限,更推动了高效、可持续技术的发展,如今已在可再生能源、电动汽车等领域大放异彩。然而,科技的魅力在于不断探索。近年来,金刚石这一昔日仅以审美价值受到青睐的材料,也因其潜在的半导体特性而备受关注。它的出现,无疑为半导体行业带来了更多的可能性与增长潜力。
“终极半导体材料”金刚石,因其集结了卓越的电学、光学、力学、热学和化学特性,被誉为“终极半导体材料”和“终极室温量子材料”。这种新型材料凭借其独特的物理化学特性,预示着未来在多个领域内的广泛应用。
金刚石半导体不仅拥有超宽禁带(5.45eV)、高击穿场强(10MV/cm)、高载流子饱和漂移速度以及出色的高热导率(22 W/cmK),这些关键特性使其远胜于第三代半导体材料GaN和SiC。此外,金刚石还展现出优异的器件品质因子,包括Johnson、Keyes、Baliga等指标。利用金刚石衬底,可以研发出高温、高频、大功率且抗辐照的电子器件,从而突破“自热效应”和“雪崩击穿”等技术难题。这在5G/6G通信、微波/毫米波集成电路、探测与传感等领域的发展中具有举足轻重的作用。

另一方面,金刚石的大激子束缚能(80meV)使其在室温下能实现高强度的自由激子发射,发光波长约为235nm,非常适合制备大功率深紫外发光二极管。这一特性在极紫外深紫外和高能粒子探测器的研发中也发挥了关键作用。

采用金刚石电子器件,不仅能减轻传统半导体的热管理负担,还能提升设备的能源效率,并增强其承受高击穿电压和恶劣环境的能力。例如,在电动汽车中,金刚石功率电子器件能实现更高效的功率转换、延长电池寿命并缩短充电时间。同时,在电信领域尤其是5G及更高级别网络的部署中,金刚石基板提供的出色热管理和频率性能对高频和高功率器件的需求提供了有力支持。此外,在消费电子领域,单晶金刚石基板有望推动智能手机、笔记本电脑和可穿戴设备组件的进一步小型化、高速化、高效化,从而引领产品创新并提升整体性能。
据市场调研机构Virtuemarket的数据显示,2023年全球金刚石半导体基材市场价值为1.51亿美元,预计到2030年底,这一市场规模将激增至3.42亿美元,复合年增长率高达12.3%。这一增长趋势得益于亚太地区,尤其是中国、日本和韩国等国家电子和半导体行业的持续增长。到2023年,亚太地区预计将占据全球金刚石半导体衬底市场收入份额的40%以上,成为市场主导者。

在多个特性优势和广阔市场前景的驱动下,金刚石在半导体产业链的多个环节都已展现出显著潜力和价值。无论是作为热沉、封装材料,还是微纳加工、BDD电极及量子科技应用,金刚石都在逐步深入半导体行业的各个关键领域,推动着技术创新与产业升级。然而,目前金刚石半导体材料在生长方面仍面临一些挑战。

中美日在金刚石半导体领域的竞争与合作

金刚石的独特性质使其在电子设备制造中面临一系列挑战,包括研磨和加工精度的问题,以及长期使用中的变质风险。此外,尝试制造更大尺寸的金刚石基板也面临着巨大的技术难题和经济压力。然而,随着近年来科技的飞速进步,金刚石半导体有望在不久的将来实现商业化应用。

在这一前沿领域,日本厂商展现出较为明显的领先优势。日本经济产业省提供的补助金政策为金刚石半导体工厂的建设提供了有力的资金支持。例如,东京的精密元件制造商Orbray已成功开发出大规模生产2英寸金刚石晶圆的技术,并计划进一步拓展至4英寸晶圆的生产。同时,佐贺大学的研究团队也取得了突破性进展,他们首次成功开发出使用金刚石的半导体电源电路,证明了高速开关和长时间运行的可行性。

此外,美国也在金刚石半导体的研发和商业化方面展现出浓厚的兴趣和实力。全球各大科技巨头纷纷加入这场竞争与合作并存的技术革新浪潮中。
去年11月,美国能源部宣布为多个项目提供资金支持,旨在推动下一代半导体技术的发展,其中就包括金刚石半导体。伊利诺伊大学便是受资助的机构之一,他们将利用这笔资金来开发光触发金刚石半导体开关设备和打造高功率金刚石光电设备等项目。

美国在金刚石半导体的制备技术上已取得显著进步。伊利诺伊大学香槟分校的研究人员成功研制出一种具有卓越击穿电压和低漏电流的金刚石半导体器件,这进一步证明了金刚石半导体在电网及其他高压应用领域的巨大潜力。

此外,戴比尔斯集团旗下的合成金刚石材料公司Element Six(元素六)宣布将领导一项美国国防部高级研究计划局(DARPA)的新项目。该项目名为UWBGS(超宽禁带半导体),旨在开发4英寸单晶金刚石材料,尺寸是目前常规可用材料的10倍以上,以期加速关键电子技术的发展。

同时,美国国防部高级研究计划局已委托雷神(Raytheon)公司研发基于人造金刚石和氮化铝(AlN)的超宽带隙半导体,以支持美国军事装备的生产。根据合同要求,雷神公司将分阶段推进该项目,包括开发半导体薄膜以及研发和改进金刚石和氮化铝技术,以支持更大直径的晶圆生产,特别是满足传感器应用的需求。

我国在这一领域也取得了重要进展。西安交大宽禁带半导体材料与器件研究中心成功实现了2英寸金刚石的产业化,填补了国内在2英寸单晶金刚石制备技术上的空白,并达到了国际领先水平。此外,该中心生产的单晶金刚石材料已广泛应用于我国5G通讯领域,为高频、大功率探测企业提供了核心材料与技术支撑。近年来,他们还采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术成功实现了2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底的批量化生产。
今年10月,河南科之诚第三代半导体碳基芯片有限公司迎来了一个重要的里程碑,其金刚石晶圆产线正式投产,并成功发布了首款产品——3.5GHz金刚石基声表面波高频滤波器。这一突破性进展,意味着该公司在采用全新技术路线的研究上,已经成功将实验室成果转化为生产线上的实际产品。
意在规避中国在第三代半导体领域的原料管控
先进的功率芯片和射频放大器离不开氮化镓(GaN)等宽带隙半导体材料,但中国掌控着大部分镓的供应。去年7月,商务部和海关总署宣布,自2023年8月1日起,将对镓、锗相关物品实施出口管制。通过出口许可制度,中国能够更清晰地追踪这些关键金属的最终用户和用途,从而降低危害国家安全和利益的风险。

从全球产量来看,中国在镓产量上占据领先地位。事实上,德国和哈萨克斯坦分别自2016年和2013年起停止了镓生产。尽管匈牙利和乌克兰曾在2015年和2019年停止镓生产,但目前情况已有所不同。

镓金属,常被归类为“小金属”,在自然界中通常以小浓度与锌或氧化铝等其他主流原材料共存。因此,对于其他国家而言,重启镓金属生产的成本可能过高,且得不偿失。

尽管GaN凭借其3.4eV的带隙成为高功率和高频半导体的佼佼者,但人造金刚石在高频性能、高电子迁移率、极端热管理以及更高功率处理和耐用性方面展现出的潜力,可能超越GaN的能力(其带隙约为5.5eV)。正因如此,金刚石的产业化受到了美国、日本等国家的广泛关注。然而,人造金刚石作为一种新兴的半导体材料,其大规模生产仍面临诸多挑战。

美国军方特别看重氮化镓在传输最先进雷达功率方面的有效性。此外,氮化镓还被用于雷神公司正在制造的爱国者导弹防御系统的替代品中。唯有在金刚石半导体领域取得突破,美国和日本才有可能摆脱中国在第三代半导体领域的材料优势。